Ultraljudssprutning Skyddsfilmspecifik beläggning före skärning av silikonskivor

 

 

 

Ultraljudssprutning av skyddsfilmsspecifik beläggning före skärning av kiselskivor har visat sig vara en pålitlig, repeterbar och effektiv metod för att applicera olika kemikalier på kisel före skärning, slipning och polering för att skydda skivan och stötar. Vanliga kemiska ämnen inkluderar Z-Coat, PMMA och andra lätt borttagbara kemikalier. FUNSONICs munstyckssystem kan anpassas för att möta kundernas specifika beläggningskrav och utmaningar för skyddsfilmer före skärning av kiselskivor.
Den skyddande filmspecifika beläggningen med ultraljudssprutning före skärning av kiselskivor kan appliceras på vilken form eller storlek som helst genom att kontrollera tjockleken från submikron till över 100 mikron. Beläggningssystemet är ett möjligt alternativ till andra beläggningsteknologier såsom roterande och traditionell sprutning.

 

 

 

 

 

Ultraljudsmunstycken har viktiga tillämpningar inom fotolitografibehandling. Halvledartillverkare använder ultraljudssprutningsteknik för att spraya fotoresistframkallare på kisel- och galliumarsenidchipsubstrat, vilket är en kemisk substans som kan visa optiska stegbildskretsar. Sprayningsprocessen innebär att man sätter in munstycket ovanför chipet och kontrollerar sedan ultraljudsmunstycket genom XYZ tre-axlar och servomotor för att jämnt fördela beläggningen. Eftersom sprayen på ultraljudsmunstycket är skonsam och kontinuerlig kan den förbättra den kemiska aktiviteten, förbättra utvecklingseffektiviteten och minska återhämtningen och materialavfall. Data visar att ultraljudssprutteknik kan spara upp till 70 % av material och förbättra kontrollen av kritiska dimensioner.
Jämfört med vanlig spinnbeläggning är vinsten med ultraljudsmunstycken att de kan fördela ämnen jämnare och minimera vätskefördelningens beroende av golvspänningen. Traditionell spinnbeläggning innebär att ämnen i form av pölar eller bäckar avsätts på ett element av ett spån och sedan sprids ut på golvet via centrifugalkraft. Detta sätt kräver specifik manipulering av temperatur och lösningsmedelsavdunstning för att säkerställa integriteten och enhetligheten hos beläggningen. Ultraljudsmunstycken, å andra sidan, finfördelar tyget på hela golvet av chipet för att strukturera en non--tunn film. På så sätt finns det inget behov av att ta hänsyn till lösningsmedelsavdunstning och ytkrafter, och det kommer ingen sputtering eller avsättning på baksidan.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Populära Taggar: ultraljudssprutning av skyddsfilmspecifik beläggning före skärning av kiselskivor, Kina ultraljudssprutning av skyddsfilmspecifik beläggning före skärning av kiselskivor, tillverkare, leverantörer, fabrik