Ultraljudssprutbeläggningsmaskin för halvledar- och fotoresistapplikationer

Vid halvledartillverkning kräver appliceringen av fotoresist, polyimider och andra funktionella tunna filmer absolut precision. Även mikroskopiska variationer i filmtjocklek kan leda till katastrofala komponentfel. Använder en avanceradUltraljudsspraybeläggningsmaskin gör det möjligt för halvledartillverkare att uppnå mycket enhetliga tunna-filmbeläggningar på komplexa topografier, inklusive djupa diken och mikrostrukturer med högt-aspekt-förhållande som traditionell spinnbeläggning inte effektivt kan täcka.

Att övervinna begränsningarna med Spin Coating

Även om spinnbeläggning är en standardprocess i branschen, kämpar den i sig med icke-plana substrat, fyrkantiga substrat eller wafers med djupa håligheter, vilket ofta leder till ojämna kantpärlor eller tomma fickor. En sprayformningsmaskin för ultraljud löser detta genom att leverera en mycket kontrollerad, finfördelad dimma direkt över målområdena. Den skonsamma sprayen med låg-hastighet låter vätskan sedimentera jämnt i mikro-spår utan att lämna luftfickor eller orsaka att material samlas.

Konstruerad för renrumsmiljöer med hög-tillförlitlighet

Halvledarproduktion kräver utrustning som fungerar tillförlitligt under strikta renrumsförhållanden.FUNSONISKdesignar och tillverkar kommersiell-ultraljudsutrustning som integreras sömlöst i automatiserade bearbetningslinjer för wafer. Våra system är byggda med hög-rena material för att förhindra kemisk kontaminering och säkerställa konsekvent vätskedynamik under långa produktionscykler.

FUNSONISKtillhandahålla standardmodeller såväl som skräddarsydda, skräddarsydda konfigurationer för att passa ditt renrumsutrymme, krav på vätskeviskositet och målgenomströmning. Låt oss hjälpa dig att maximera ditt waferutbyte och minska dyr kemikalieförbrukning.

Få en snabb teknisk offert från vår B2B-servicedesk:

E-post:tina@fun-sonic.com

Hotline: +86-571-63325803

Mobil: +8618966176048